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超越半導體製程的極限:極紫外光微影 (二集之一)

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手機的發展已為用戶帶來極大便利,但這麼小的裝置怎麼會有如此多功能?答案是它精細的「大腦」:一系列晶片。每個晶片內有大量密集的電路元件,可容納數十億的電晶體,大小約頭髮寬度的千分之一到萬分之一,這些電路是如何製成的呢?答案是通過「微影」。本節目為我們介紹了先進的下一代微影技術:極紫外光微影。
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